Lo strumento è composto da due blocchi principali. Il primo blocco, sulla sinistra, è formato da una struttura a cono rovesciato, al cui interno è contenuto (dall'alto verso il basso): un generatore di elettroni, una serie di lenti elettromagnetiche, un sistema di scansione e una camera portacampioni, all'interno della quale viene fatto il vuoto. Il secondo blocco, sulla destra, è rappresentato dal sistema di generazione dell'immagine che trasforma il segnale fornito dal rivelatore durante la scansione del campione e lo invia su uno schermo che permette la visualizzazione dell'immagine